[发明专利]一种高精度法兰盘型硅谐振压力传感器及其制造工艺

摘要

本发明公开了一种高精度法兰盘型硅谐振压力传感器及其制造工艺，包括由下至上依次设置的玻璃衬底层、硅衬底层、二氧化硅埋层、法兰盘型硅谐振层以及盖板层；该传感器利用法兰盘型结构的谐振器大刚度的特点，代替了传统小刚度梁型谐振器，极大地提高了工作模态的谐振频率，解决了梁型谐振器工作模态频率低，容易受到模态串扰的问题，相邻的干扰模态与工作模态频率间隔较大，不会引起模态干扰的现象。同时，法兰盘型的谐振结构引入了滑膜阻尼，相较于梁型结构的压膜阻尼，其阻尼比较小，对应的Q值较高，除此之外，高的工作模态频率也对应了高Q值的特点，使得谐振传感器的灵敏度增加，提高了测量的高精度。