[发明专利]使用光致发光光谱的用于OLED制造的计量在审
| 申请号： | 202210477842.0 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN114994000A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 阿维舍克·古什;郭秉圣;罗伯特·简·维瑟;托德·伊根;冈加达尔·班纳帕纳瓦尔;迪内什·卡布拉 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63;G01N21/64 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于确定光致发光(PL)层的特性的设备，包括：光源，所述光源产生激发光，所述激发光包含来自可见或近可见光谱的光；光学组件，所述光学组件被配置为将激发光引导到PL层上；检测器，所述检测器被配置为接收PL发射，并基于PL发射产生信号，所述PL发射由PL层响应于与PL层相互作用的激发光而产生；以及计算装置，所述计算装置耦接至检测器，且计算装置被配置为接收来自检测器的信号，并基于所述信号确定PL层的特性。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 光致发光 光谱 用于 oled 制造 计量 | ||
【主权项】：
暂无信息
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