[发明专利]使用光致发光光谱的用于OLED制造的计量

说明书

一种用于确定光致发光(PL)层的特性的设备，包括：光源，所述光源产生激发光，所述激发光包含来自可见或近可见光谱的光；光学组件，所述光学组件被配置为将激发光引导到PL层上；检测器，所述检测器被配置为接收PL发射，并基于PL发射产生信号，所述PL发射由PL层响应于与PL层相互作用的激发光而产生；以及计算装置，所述计算装置耦接至检测器，且计算装置被配置为接收来自检测器的信号，并基于所述信号确定PL层的特性。

本申请是申请日为2019年3月29日、申请号为201980029120.5、发明名称为“使用光致发光光谱的用于OLED制造的计量”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本揭示内容的实施方式大体涉及用于使用静态和纳秒瞬态光致发光光谱法监测层中的均匀性及/或掺杂剂浓度的非破坏性原位计量。

背景技术

有机发光二极管(OLED)是包括响应于电流而发光的有机半导体层的发光二极管(LED)。此有机半导体层，称为发光电致发光层，位于两个电极之间，其中一个电极通常是透明的(或者在透明显示器的情况下两个电极是透明的)。OLED用于在诸如电视屏幕、计算机监视器、移动电话、手持游戏主机、和个人数字助理(PDA)的设备中构成发光数字显示器。OLED显示器的像素由有机半导体层形成，因此自身发射可见光。因此，与液晶显示器(LCD)不同，OLED显示器在没有背光的情况下操作。因此，OLED显示器通常比相对应的液晶显示器(LCD)更薄且更轻，并且产生更深的黑色并且实现比LCD更高的对比度。

有源矩阵OLED(AMOLED)显示器包括位于背板上的高密度有机电致发光像素阵列，背板直接选取并开启或关闭每个个别的像素。每个电致发光像素由各种有机层的堆叠形成，这些有机层被选择性地沉积在TFT背板上并由薄膜阴极和阳极层结合。构成每个电致发光像素的有机层通常包括电子注入层(EIL)、电子传输层(ETL)、发光层(EML)、空穴传输层(HTL)和空穴注入层(HIL)。这些层中的每一层的品质和均匀性可以显著影响像素和OLED显示器的整体效能。例如，小到1％的层中掺杂剂浓度的变化就可以改变层中载流子的动态，这转而影响层的光致发光行为。这些有机层中的一个或多个的厚度变化也会影响装置效率。

OLED的各种有机层通常在单个高度真空沉积系统中形成，其中每个层经由系统的不同腔室沉积在背板上。因此，在整个OLED形成处理完成之前不能接近和测试OLED装置，整个OLED形成处理可持续长达数小时，在此期间通常处理大量基板。因此，单个腔室中的处理偏移可能在进行检测之前影响大量装置。因此，就产量损失而言，检测和响应处理偏移的这种延迟可能造成严重损失。

另外，在现有技术中，用于OLED装置的计量技术相对耗时，并且在沉积了所有有机层之后使用，这也可能延迟对处理偏移的检测。此外，用于OLED装置的习知的计量技术通常在应用于比实际OLED装置层厚度厚得多的OLED层时最准确。因此，在测量与OLED装置的生产层相关的微小变化时产生的信号可能不足以产生对于沉积处理的可靠反馈。

因此，本领域需要能够快速且准确地监测OLED装置的个别层的性质的系统和方法。

发明内容

根据各种实施方式，一种设备包括：光源，所述光源产生激发光，所述激发光包含来自可见或近可见光谱的光；光学组件，所述光学组件被配置为将激发光引导到光致发光(PL)层上，PL层形成在基板上，所述基板设置在用于沉积PL层的系统中；检测器，所述检测器被配置为接收PL发射，并基于所述PL发射产生信号，所述PL发射由PL层响应于与PL层相互作用的激发光而产生；以及计算装置，所述计算装置耦接至所述检测器，且所述计算装置被配置为接收来自所述检测器的信号，并基于所述信号确定所述PL层的特性。

附图说明

为了能详细了解本公开内容的上述特征的方式，可参考多个实施方式得到以上简要概述的本公开内容的更特定地说明，附图图示了其中一些实施方式。然而应注意到，附图仅图示示例性实施方式，且因此不应被视为限制实施方式的范围，并可允许其他等效的实施方式。