[发明专利]芯片压测设备有效

专利信息
申请号: 202210475916.7 申请日: 2022-04-29
公开(公告)号: CN114779051B 公开(公告)日: 2023-06-20
发明(设计)人: 林宜龙;刘飞;张宋儿 申请(专利权)人: 深圳格芯集成电路装备有限公司
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28
代理公司: 深圳高智量知识产权代理有限公司 44851 代理人: 姚启迪
地址: 518000 广东省深圳市坪山区龙田街道*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明实施例公开了一种芯片压测设备,用于完成整盘待测芯片的整盘一次测试,芯片压测设备包括:机架;存料模组,存料模组设置于机架上,用于暂存整盘的待测芯片;料盘转移模组,料盘转移模组可运动的设置于机架上;料盘固定模组,料盘固定模组设置于机架上,用于承接由料盘转移模组运送而来的整盘待测芯片;芯片转移模组,芯片转移模组可运动的设置于机架上,用于将料盘固定模组内的整盘待测芯片转移至压测工位中进行测试。本方案能够实现装料载盘整盘芯片取料和放料操作,也即仅需一次取放料操作,便可完成对所有芯片同时测试的目的,单个测试周期不需要频繁多次往返取放料,取放料耗时短,测试效率得到大幅提升,显著提升了生产效率。
搜索关键词: 芯片 设备
【主权项】:
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