[发明专利]照明光学系统、曝光装置及制造物品的方法在审
| 申请号： | 202210471767.7 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN115309001A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 小林大辅 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 汪晶晶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及照明光学系统、曝光装置及制造物品的方法。本发明提供了一种用于照亮物体的照明光学系统，包括：第一透光构件和第二透光构件，以及被配置为控制第一透光构件和第二透光构件的驱动的控制单元，其中，在控制单元驱动第一透光构件使得光对第一透光构件的入射角增加的同时，控制单元驱动第二透光构件使得光对第二透光构件的入射角减小，从而改变从照明光学系统出射的光的强度。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 光学系统 曝光 装置 制造 物品 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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