[发明专利]石墨烯导热膜制备方法在审
| 申请号： | 202210459705.4 | 申请日： | 2022-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN114774856A | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 王增奎;金虎;郭冰 | 申请（专利权）人： | 常州二维碳素科技股份有限公司;江苏江南烯元石墨烯科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/22;C23C16/01;C23C16/26;C23C16/44 |
| 代理公司： | 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 | 代理人： | 周俊杰 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及膜制备方法领域，尤其是石墨烯导热膜制备方法。该方法的步骤为：A、镍箔清洗；B、在坩埚中放入粉末状的固态碳源，然后将镍箔水平放在坩埚口，再将耐高温框架水平压在镍箔上，接着整体倒置放入炉腔惰性气氛保护常压加热，通过控制生长温度和保温时间，在镍箔另一面就可以生长出石墨烯厚膜。该发明相比于石墨烯导热膜通常使用的两种成型方法，不仅解决了对于250nm~10um厚度的石墨烯导热膜不易成型的问题，对微电子器件散热具有重要意义，而且无需高温石墨化处理工艺，生产周期短，能耗低，工艺易于扩展。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 导热 制备 方法 | ||
【主权项】：
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