[发明专利]检查系统在审
| 申请号： | 202210452143.0 | 申请日： | 2022-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN115248097A | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 大森和哉;山下亮;大河原直人;宫前恭平 | 申请（专利权）人： | 株式会社大福 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 朱美红;司昆明 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种检查系统。在具备载置容器的载置台（2）和将气体供给到容器的气体供给装置（3）的容器收容设备（10）中进行气体的流动的检查的检查系统（100），具备能够载置在载置台的检查单元（5）和判定部；气体供给装置（3）具备：供气部（31），被配置在载置台以与容器的容器流入部连接；供气配管（32）；以及供气流量控制部（33），将经由供气配管供给到供气部的气体的流量设为规定的供气流量；检查单元（5）具备：检查流入部（51），与供气部连接；以及流入流量测量部（53），测量从检查流入部流入的气体的流量即流入流量；判定部基于供气流量与流入流量的差，判定供气部（31）与检查流入部（51）的连接部分处的气体的泄漏状态。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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