[发明专利]具有压电致动以及改进的张角的微机电反射镜器件在审
| 申请号： | 202210451681.8 | 申请日： | 2022-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN115248499A | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | N·博尼;R·卡尔米纳蒂;M·默利 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G03B21/28;B81B5/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本公开的各实施例总体上涉及具有压电致动以及改进的张角的微机电反射镜器件。一种微机电反射镜器件包括限定腔的固定结构、弹性地悬置在腔上方并且承载反射表面并且具有在水平平面中的主延伸的可倾斜结构。第一对驱动臂弹性地耦接到可倾斜结构，并且承载相应的压电材料区域，该压电材料区域被偏置以引起可倾斜结构围绕平行于水平平面的第一水平轴线的第一旋转轴线旋转。在第一旋转轴线处将可倾斜结构耦接到固定结构的弹性悬置元件相对于离开水平平面的移动是刚性的且相对于围绕第一旋转轴线的扭转是柔性的，并且还在可倾斜结构和固定结构之间延伸。弹性悬置元件沿第一旋转轴线在可倾斜结构的相对侧具有不对称的布置方式。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 压电 以及 改进 张角 微机 反射 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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