[发明专利]一种介电结构的制备方法、介电结构在审
申请号: | 202210451165.5 | 申请日: | 2022-04-24 |
公开(公告)号: | CN114914291A | 公开(公告)日: | 2022-08-16 |
发明(设计)人: | 曾健忠 | 申请(专利权)人: | 天狼芯半导体(成都)有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 阳方玉 |
地址: | 610000 四川省成都市高新*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本申请属于半导体技术领域,提供了一种介电结构的制备方法、介电结构,通过采用第二半导体层作为保护层,对其与衬底之间的第二半导体层进行氧化处理形成介电层,并在第二半导体层的位置形成具有角度的接触金属层,从而提升金属半导体接触部分的金属边缘的半导体反向电场,达到提高功率器件的反向耐压和可靠度的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 结构 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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