[发明专利]一种PCB板曝光设备在审

专利信息
申请号: 202210448989.7 申请日: 2022-04-27
公开(公告)号: CN114563931A 公开(公告)日: 2022-05-31
发明(设计)人: 廖平强;张华 申请(专利权)人: 杭州新诺微电子有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 浙江永鼎律师事务所 33233 代理人: 陆永强
地址: 311200 浙江省杭州市萧*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了一种PCB板曝光设备,属于PCB板曝光技术领域,解决了现有技术曝光效果不佳的问题。本发明包括机座,机座上设有底板、可驱动底板沿Y轴运动的Y轴驱动装置、可用于曝光PCB板正面的第一曝光装置和可用于曝光PCB板反面的第二曝光装置,底板上分别设有用于放置PCB板的支撑结构、可夹紧或松开PCB板的夹紧装置、可驱动支撑结构在X轴方向移动以避免投射光斑被挡的X轴驱动装置,支撑结构上设有可供投射光斑通过的投射过道。本发明通过在支撑结构上开设投射过道,便于第二曝光装置对PCB板曝光,通过X轴驱动装置驱动支撑结构沿X轴方向移动来实现投射过道相对PCB板移动,可完成对PCB板反面的全面曝光,并依靠夹紧装置的夹紧定位,显著提升曝光效果。
搜索关键词: 一种 pcb 曝光 设备
【主权项】:
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