[发明专利]一种PCB板曝光设备在审

专利信息
申请号: 202210448989.7 申请日: 2022-04-27
公开(公告)号: CN114563931A 公开(公告)日: 2022-05-31
发明(设计)人: 廖平强;张华 申请(专利权)人: 杭州新诺微电子有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 浙江永鼎律师事务所 33233 代理人: 陆永强
地址: 311200 浙江省杭州市萧*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 pcb 曝光 设备
【权利要求书】:

1.一种PCB板曝光设备,包括机座(1),其特征在于:所述的机座(1)上设有底板(2)、可驱动底板(2)沿Y轴运动的Y轴驱动装置(3)、可用于曝光PCB板(12)正面的第一曝光装置(4)和可用于曝光PCB板(12)反面的第二曝光装置(5),所述的底板(2)上分别设有用于放置PCB板(12)的支撑结构(6)、可夹紧或松开PCB板(12)的夹紧装置(7)、可驱动支撑结构(6)在X轴方向移动以避免投射光斑被挡的X轴驱动装置(8),所述的支撑结构(6)上设有可供投射光斑通过的投射过道(9)。

2.根据权利要求1所述的PCB板曝光设备,其特征在于:所述的支撑结构(6)包括设置于底板(2)上的支撑座(61)和并列设置于支撑座(61)上用于放置PCB板(12)的多根支撑辊(62),所述支撑辊(62)之间的间隙形成上述投射过道(9)。

3.根据权利要求2所述的PCB板曝光设备,其特征在于:所述的支撑辊(62)与支撑座(61)为铰接。

4.根据权利要求1或2或3所述的PCB板曝光设备,其特征在于:所述的夹紧装置(7)包括设置于底板(2)上的第一驱动机构(71)、设置于第一驱动机构(71)输出端的第一夹紧板(72)、固定连接于支撑结构(6)上的第二夹紧板(73),所述的第一驱动机构(71)可驱动第一夹紧板(72)向靠近或远离第二夹紧板(73)的方向移动。

5.根据权利要求4所述的PCB板曝光设备,其特征在于:所述的底板(2)上设有可对第一夹紧板(72)移动导向的第一导轨(10)。

6.根据权利要求4所述的PCB板曝光设备,其特征在于:所述的夹紧装置(7)还包括设置于第一夹紧板(72)和/或第二夹紧板(73)上用于防止PCB板(12)在Z轴方向蹿动的旋转夹紧气缸(74)。

7.根据权利要求4所述的PCB板曝光设备,其特征在于:所述的X轴驱动装置(8)包括设置于底板(2)上可驱动第二夹紧板(73)或支撑结构(6)沿X轴方向移动的驱动气缸(81)。

8.根据权利要求7所述的PCB板曝光设备,其特征在于:所述的支撑座(61)或第二夹紧板(73)底部设有可对其移动导向的第二导轨(11)。

9.根据权利要求1或2或3所述的PCB板曝光设备,其特征在于:所述的Y轴驱动装置(3)包括设置于机座(1)上的直线电机(31),所述的直线电机(31)动子上设有与底板(2)连接的连接板(32)。

10.根据权利要求1或2或3所述的PCB板曝光设备,其特征在于:所述的第一曝光装置(4)包括设置于支撑结构(6)上方的第一曝光镜头(41)和设置于机座(1)上用于驱动第一曝光镜头(41)移动的第二驱动机构(42),所述的第二曝光装置(5)包括设置于支撑结构(6)下方的第二曝光镜头(51)和设置于机座(1)上用于驱动第二曝光镜头(51)移动的第三驱动机构(52)。

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