[发明专利]一种PCB板曝光设备在审
| 申请号: | 202210448989.7 | 申请日: | 2022-04-27 |
| 公开(公告)号: | CN114563931A | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
| 发明(设计)人: | 廖平强;张华 | 申请(专利权)人: | 杭州新诺微电子有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人: | 陆永强 |
| 地址: | 311200 浙江省杭州市萧*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 pcb 曝光 设备 | ||
1.一种PCB板曝光设备,包括机座(1),其特征在于:所述的机座(1)上设有底板(2)、可驱动底板(2)沿Y轴运动的Y轴驱动装置(3)、可用于曝光PCB板(12)正面的第一曝光装置(4)和可用于曝光PCB板(12)反面的第二曝光装置(5),所述的底板(2)上分别设有用于放置PCB板(12)的支撑结构(6)、可夹紧或松开PCB板(12)的夹紧装置(7)、可驱动支撑结构(6)在X轴方向移动以避免投射光斑被挡的X轴驱动装置(8),所述的支撑结构(6)上设有可供投射光斑通过的投射过道(9)。
2.根据权利要求1所述的PCB板曝光设备,其特征在于:所述的支撑结构(6)包括设置于底板(2)上的支撑座(61)和并列设置于支撑座(61)上用于放置PCB板(12)的多根支撑辊(62),所述支撑辊(62)之间的间隙形成上述投射过道(9)。
3.根据权利要求2所述的PCB板曝光设备,其特征在于:所述的支撑辊(62)与支撑座(61)为铰接。
4.根据权利要求1或2或3所述的PCB板曝光设备,其特征在于:所述的夹紧装置(7)包括设置于底板(2)上的第一驱动机构(71)、设置于第一驱动机构(71)输出端的第一夹紧板(72)、固定连接于支撑结构(6)上的第二夹紧板(73),所述的第一驱动机构(71)可驱动第一夹紧板(72)向靠近或远离第二夹紧板(73)的方向移动。
5.根据权利要求4所述的PCB板曝光设备,其特征在于:所述的底板(2)上设有可对第一夹紧板(72)移动导向的第一导轨(10)。
6.根据权利要求4所述的PCB板曝光设备,其特征在于:所述的夹紧装置(7)还包括设置于第一夹紧板(72)和/或第二夹紧板(73)上用于防止PCB板(12)在Z轴方向蹿动的旋转夹紧气缸(74)。
7.根据权利要求4所述的PCB板曝光设备,其特征在于:所述的X轴驱动装置(8)包括设置于底板(2)上可驱动第二夹紧板(73)或支撑结构(6)沿X轴方向移动的驱动气缸(81)。
8.根据权利要求7所述的PCB板曝光设备,其特征在于:所述的支撑座(61)或第二夹紧板(73)底部设有可对其移动导向的第二导轨(11)。
9.根据权利要求1或2或3所述的PCB板曝光设备,其特征在于:所述的Y轴驱动装置(3)包括设置于机座(1)上的直线电机(31),所述的直线电机(31)动子上设有与底板(2)连接的连接板(32)。
10.根据权利要求1或2或3所述的PCB板曝光设备,其特征在于:所述的第一曝光装置(4)包括设置于支撑结构(6)上方的第一曝光镜头(41)和设置于机座(1)上用于驱动第一曝光镜头(41)移动的第二驱动机构(42),所述的第二曝光装置(5)包括设置于支撑结构(6)下方的第二曝光镜头(51)和设置于机座(1)上用于驱动第二曝光镜头(51)移动的第三驱动机构(52)。
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