[发明专利]一种PCB板曝光设备在审

专利信息
申请号: 202210448989.7 申请日: 2022-04-27
公开(公告)号: CN114563931A 公开(公告)日: 2022-05-31
发明(设计)人: 廖平强;张华 申请(专利权)人: 杭州新诺微电子有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 浙江永鼎律师事务所 33233 代理人: 陆永强
地址: 311200 浙江省杭州市萧*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 pcb 曝光 设备
【说明书】:

发明提供了一种PCB板曝光设备,属于PCB板曝光技术领域,解决了现有技术曝光效果不佳的问题。本发明包括机座,机座上设有底板、可驱动底板沿Y轴运动的Y轴驱动装置、可用于曝光PCB板正面的第一曝光装置和可用于曝光PCB板反面的第二曝光装置,底板上分别设有用于放置PCB板的支撑结构、可夹紧或松开PCB板的夹紧装置、可驱动支撑结构在X轴方向移动以避免投射光斑被挡的X轴驱动装置,支撑结构上设有可供投射光斑通过的投射过道。本发明通过在支撑结构上开设投射过道,便于第二曝光装置对PCB板曝光,通过X轴驱动装置驱动支撑结构沿X轴方向移动来实现投射过道相对PCB板移动,可完成对PCB板反面的全面曝光,并依靠夹紧装置的夹紧定位,显著提升曝光效果。

技术领域

本发明属于PCB板曝光技术领域,具体而言,涉及一种PCB板曝光设备。

背景技术

传统曝光机曝光工艺流程包括“CAM设计”、“底片制作”、“底片检查”、“底片选择和确认”、“放置底片”、“清洁底片”和“平行光扫描曝光”等,传统曝光虽然可以实现双面同时曝光,但因为是人手工放置底片,对位精度和双面对位精度很难保证,仅适用于粗精度制程,同时“底片制作”物料成本较高,“放置底片”消耗的人工成本较高。

直写式光刻技术是近年来发展起来的影像直接转移技术。其原理是:采用DMD的微镜片高速翻转能力,结合适当的光源和投影光学系统,当微镜片为ON时,出射光会被反射到基底;当微镜片为OFF时,出射光会被反射到吸收板上,在基底上没有出射光。通过连续向DMD投射均匀光,同时实时、集体改变微镜片阵列的开关状态,达到在基板上曝光不同图案的目的。

现阶段的直写光刻设备对PCB进行双面曝光的时候,常常很难将板两面的图形进行精确对位,尤其是对于内层板,由于内层板没有定位孔的存在,更难实现双面曝光时候的精确对位,最终导致曝光效果不良。

目前有的双面曝光设备多数用于卷对卷料材,对于片材的PCB板而言,其缺少可靠又稳定的固定板材装置,导致曝光效果不佳。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术中存在的上述问题,提出了一种曝光效果好的PCB板曝光设备。

本发明的目的可通过下列技术方案来实现:一种PCB板曝光设备,包括机座,所述的机座上设有底板、可驱动底板沿Y轴运动的Y轴驱动装置、可用于曝光PCB板正面的第一曝光装置和可用于曝光PCB板反面的第二曝光装置,所述的底板上分别设有用于放置PCB板的支撑结构、可夹紧或松开PCB板的夹紧装置、可驱动支撑结构在X轴方向移动以避免投射光斑被挡的X轴驱动装置,所述的支撑结构上设有可供投射光斑通过的投射过道。

支撑结构用于放置PCB板,通过在支撑结构上开设投射过道,便于第二曝光装置对PCB板曝光,通过X轴驱动装置来驱动支撑结构沿X轴方向移动配合投射过道,由于夹紧装置夹紧PCB板,支撑结构可相对PCB板移动,即投射过道也可相对PCB板移动,因此可逐步完成对PCB板反面的全面曝光,同时依靠夹紧装置的夹紧定位,最终曝光效果可以得到显著的提升。

在上述的PCB板曝光设备中,所述的支撑结构包括设置于底板上的支撑座和并列设置于支撑座上用于放置PCB板的多根支撑辊,所述支撑辊之间的间隙形成上述投射过道。

支撑座用于安装支撑辊,支撑辊上可以放置PCB板,PCB板尚未被夹紧装置夹紧时,支撑辊起到支撑效果。

在上述的PCB板曝光设备中,所述的支撑辊与支撑座为铰接。通过将支撑辊与支撑座设置为铰接,可减少PCB板与支撑辊之间的摩擦,便于相对运动。

在上述的PCB板曝光设备中,所述的夹紧装置包括设置于底板上的第一驱动机构、设置于第一驱动机构输出端的第一夹紧板、固定连接于支撑结构上的第二夹紧板,所述的第一驱动机构可驱动第一夹紧板向靠近或远离第二夹紧板的方向移动。

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