[发明专利]双坩埚液相外延生长装置有效
| 申请号： | 202210438009.5 | 申请日： | 2022-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN114752997B | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 宋波;张晗旭;朱森寅;王先杰;韩杰才 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C30B19/06 | 分类号： | C30B19/06;C30B29/28 |
| 代理公司： | 北京隆源天恒知识产权代理有限公司 11473 | 代理人： | 孟佳 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种双坩埚液相外延生长装置，涉及液相外延生长设备技术领域，包括第一炉体、第二炉体、坩埚组件和驱动组件，所述第一炉体与所述第二炉体通过通孔相连；所述坩埚组件包括两个坩埚，两个所述坩埚分别设置于所述第一炉体和所述第二炉体内部；所述驱动组件用于分别驱动两个所述坩埚穿过所述通孔以对调在所述第一炉体和所述第二炉体内的位置。本发明通过两个坩埚连续调换进而实现液相外延生长薄膜的连续生长，突破膜厚的技术瓶颈，提高薄膜的质量和制备效率，有利于进行批量化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 外延 生长 装置 | ||
【主权项】：
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