[发明专利]双坩埚液相外延生长装置

权利要求书

1.一种双坩埚液相外延生长装置，其特征在于，包括第一炉体(1)、第二炉体(2)、坩埚组件和驱动组件，所述第一炉体(1)与所述第二炉体(2)通过通孔相连；所述坩埚组件包括两个坩埚(3)，两个所述坩埚(3)分别设置于所述第一炉体(1)和所述第二炉体(2)内部；所述驱动组件用于分别驱动两个所述坩埚(3)穿过所述通孔以对调在所述第一炉体(1)和所述第二炉体(2)内的位置；

所述第一炉体(1)包括第一内壁(7)和第一外壁(19)，所述第一内壁(7)和所述第一外壁(19)之间设有第一保温层(9)；所述第二炉体(2)包括第二内壁(8)和第二外壁(20)，所述第二内壁(8)和所述第二外壁(20)之间设有第二保温层(10)，所述第一炉体(1)和所述第二炉体(2)的形状为圆筒型，所述第一保温层(9)与所述第二保温层(10)的厚度相同，且所述第一保温层(9)的外侧与所述第二内壁(8)相切；

所述第一炉体(1)还包括第一加热层(11)，所述第一加热层(11)设置于所述第一内壁(7)上，所述第一加热层(11)从上到下依次设有五个温度区；所述第二炉体(2)还包括第二加热层(12)，所述第二加热层(12)设置于所述第二内壁(8)上。

2.根据权利要求1所述的双坩埚液相外延生长装置，其特征在于，所述坩埚组件还包括环形底座(4)，两个所述坩埚(3)相对设置于所述环形底座(4)上；所述通孔为两个，所述通孔的底部轮廓与所述环形底座(4)的形状相匹配，所述通孔用于所述驱动组件驱动所述环形底座(4)带动所述坩埚(3)穿过。

3.根据权利要求2所述的双坩埚液相外延生长装置，其特征在于，所述坩埚组件还包括环形密封条(5)，所述环形密封条(5)设置于所述环形底座(4)上，且位于两个所述坩埚(3)之间，所述环形密封条(5)的轮廓与所述通孔的轮廓相匹配，用于所述坩埚(3)穿过所述通孔后密封所述通孔。

4.根据权利要求3所述的双坩埚液相外延生长装置，其特征在于，所述驱动组件包括齿形带(6)和与所述齿形带(6)连接的驱动电机，所述齿形带(6)与所述环形底座(4)的底部相连接，且所述齿形带(6)用于在所述驱动电机的驱动下带动所述环形底座(4)转动。

5.根据权利要求1所述的双坩埚液相外延生长装置，其特征在于，所述第一炉体(1)和所述第二炉体(2)还包括温度监测组件(13)，所述温度监测组件(13)对应所述第一加热层(11)和所述第二加热层(12)设置，用于监测所述第一加热层(11)和所述第二加热层(12)对应温区的温度。

6.根据权利要求1所述的双坩埚液相外延生长装置，其特征在于，所述第一炉体(1)和所述第二炉体(2)还包括活动阀门(14)，所述活动阀门(14)用于打开或关闭所述第一炉体(1)和所述第二炉体(2)。

7.根据权利要求1所述的双坩埚液相外延生长装置，其特征在于，所述第一炉体(1)对应所述坩埚(3)位置的上方还设置有第一工作杆(15)，所述第一工作杆(15)用于连接搅拌棒或夹具，且所述第一工作杆(15)分别用于与第一升降机构和第一旋转机构相连接，以实现所述第一工作杆(15)的升降运动或旋转运动；所述第二炉体(2)对应所述坩埚(3)位置的上方还设置有第二工作杆(16)，所述第二工作杆(16)用于连接搅拌棒，且所述第二工作杆(16)分别用于与第二升降机构和第二旋转机构相连接，以实现所述第二工作杆(16)的升降运动或旋转运动。

8.根据权利要求2所述的双坩埚液相外延生长装置，其特征在于，所述第一炉体(1)内对应所述坩埚(3)位置的下方设有托盘(17)，所述托盘(17)分别用于与第三升降机构和第三旋转机构相连接；所述环形底座(4)包括圆台(18)，所述圆台(18)对应所述坩埚(3)底部设置，所述圆台(18)的上表面与所述坩埚(3)底部连接，所述圆台(18)的下表面与所述托盘(17)可拆卸连接，且所述圆台(18)上表面的直径大于所述圆台(18)下表面的直径，用于所述托盘(17)升降或旋转所述圆台(18)时带动所述坩埚(3)升降或旋转。