[发明专利]蒸气压稳定的MO源装置及蒸气压稳定的MO源供给方法

摘要

本发明公开了一种蒸气压稳定的MO源装置及蒸气压稳定的MO源供给方法。所述蒸气压稳定的MO源装置包括：第一MO源供给单元，用于以固态MO源向所述第二MO源供给单元补充MO源蒸气；第二MO源供给单元，用于以MO源溶液向外延生长设备内提供MO源蒸气；载气缓冲单元，至少用于使自第二MO源供给单元输出的载气中携带的溶剂与载气分离；控制单元，与所述第一MO源供给单元、第二MO源供给单元、载气缓冲单元连接，并至少用于调节所述第一MO源供给单元、第二MO源供给单元、载气缓冲单元的工作状。本发明提供的蒸气压稳定的MO源装置，可以弥补MO源溶液中固态MO源的消耗，维持MO源溶液中的蒸气压稳定，进而提高外延生长工艺稳定性。