[发明专利]一种激光六自由度运动误差同步测量系统有效
| 申请号： | 202210435046.0 | 申请日： | 2022-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN114812392B | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 李瑞君;林荣炜;何亚雄;李洁;程真英 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/26;G01B11/27 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光六自由度运动误差同步测量系统，是由固定单元和移动测量单元构成收发一体式结构，固定单元安装在固定平面上，移动测量单元安装在线性位移平台上，以激光器为光源，以四象限光电探测器和二维位置探测器为检测器件，实现线性位移平台的俯仰角、偏摆角、滚转角、水平直线度、竖直直线度及位移的同时测量，通过设置光束角度漂移检测模块有效消除光束角度漂移对俯仰角、偏摆角、滚转角、水平直线度、垂直直线度误差和位移测量精度的影响；本发明结构简单、成本低，可同时实现线性位移平台六自由度运动误差的在线测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 自由度 运动 误差 同步 测量 系统 | ||
【主权项】：
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