[发明专利]一种基于平行光路的多自由度检测装置

摘要

本发明公开了一种基于平行光路的多自由度检测装置，由激光发射单元、激光接收单元和信号处理单元构成；激光发射单元固定设置在被测轴的前方，利用光束分束单元将经过准直的激光分成两路平行光束出射；激光接收单元与工作台随动，利用光电探测单元接收两束平行光，以感测直线度误差和角度误差；信号处理单元进行信号处理实现误差检测。本发明具有两路严格平行光束，光路简单，易于调整，能够实现包括两个直线度误差和三个角度误差在内的五个自由度测量，尤其是针对滚转角误差的测量无需进行误差补偿，兼顾长距离和大量程。