[发明专利]巨自旋霍尔角金属-氧化铪复合薄膜材料及其制备方法在审
| 申请号： | 202210433929.8 | 申请日： | 2022-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN115411179A | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 孟皓;迟克群;金立川;唐晓莉 | 申请（专利权）人： | 浙江驰拓科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L43/10 | 分类号： | H01L43/10;H01L43/14;H01L43/06;C23C14/06;C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 轩勇丽 |
| 地址： | 311300 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开了巨自旋霍尔角金属‑氧化铪复合薄膜材料及其制备方法，涉及自旋电子新材料领域，为解决现有材料无法满足获得更强自旋霍尔效应的材料的问题。复合薄膜材料为生长于基片表面的金属‑氧化铪复合薄膜，金属‑氧化铪复合薄膜的组分为R |
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| 搜索关键词： | 自旋 霍尔 金属 氧化 复合 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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