[发明专利]一种纳米孪晶铜电镀液、电镀方法、纳米孪晶铜材料及应用有效
| 申请号： | 202210423416.9 | 申请日： | 2022-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN114875461B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 刘志权;李哲;王瑞勋;董易;孙蓉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C25D3/38 | 分类号： | C25D3/38;C25D5/00;C25D5/38;C25D5/48;C25D5/54 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 边人洲 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米孪晶铜电镀液、电镀方法、纳米孪晶铜材料及应用。所述纳米孪晶铜电镀液包含铜离子、硫酸、氯离子、纳米孪晶铜电镀助剂、抑制剂和水；所述纳米孪晶铜电镀助剂包括镍离子，所述电镀液中的镍离子的浓度为0.2‑1000mM。本发明为直流电镀纳米孪晶铜材料提供了一种全新的电镀液以及微观组织调控手段，通过添加电镀助剂这一经济可控的方式，完全不依赖额外工序或特殊基材的使用就能够在直流电镀结晶生长阶段实现纳米孪晶铜过渡层的减小以及纳米孪晶组织占比的提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 孪晶铜 电镀 方法 材料 应用 | ||
【主权项】：
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