[发明专利]一种耦合谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210422644.4 | 申请日： | 2022-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN114866060A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 吴国强;韩金钊;陈文;肖宇豪 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H9/02;H03H3/04 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 胡琦旖 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于微电子技术领域，公开了一种耦合谐振器及其制备方法。耦合谐振器包括至少两种谐振振子，在至少两种谐振振子中，至少有一种谐振振子的频率温度系数为正，至少有一种谐振振子的频率温度系数为负，不同种类的谐振振子具有不同的振动模态，多种谐振振子耦合谐振时，多种谐振振子的频率温度特性相互补偿。本发明设计的耦合谐振器具有很好的温度稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耦合 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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