[发明专利]一种微波辅助一步快速制备金属氧氮化物的方法

摘要

本发明公开了一种微波辅助一步快速制备金属氧氮化物的方法，属于钙钛矿AB(O,N)3结构金属氧氮化物半导体材料制备领域，包括以下步骤：称取A位金属源和B位金属源以及尿素进行充分研磨得前驱反应物料，将前驱反应物料放置于坩埚型SiC微波感受器，并置于陶瓷管内，通入氮气，在保持气流下进行微波处理，保持氮气气流至微波炉降至室温，获得金属氧氮化物。本发明借助微波加热这一独特的加热方式，可以在极短的时间内使炉内温度升至高温状态；微波的特殊性能够通过加速反应的进行，避免尿素氮源的热损失；本发明能够在低能耗、不使用氨气的情况下短时间内一步获得纯相的SrTaO2N、BaTaO2N等金属氧氮化物。