[发明专利]三氯化砷还原装置及三氯化砷还原方法在审
| 申请号： | 202210415600.9 | 申请日： | 2022-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN114717429A | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 曾小东;郭金伯 | 申请（专利权）人： | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C22B30/04 | 分类号： | C22B30/04;C22B5/12;C22B5/16;B01J19/24;B01D5/00;B01D53/00;B01D45/02;B01D45/08;B01D45/18 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 张向琨 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本公开提供一种三氯化砷还原装置及三氯化砷还原方法。三氯化砷还原装置包括沉积段、入口段、出口段及粉尘收集机构；沉积段竖直放置，入口段密封连接在沉积段的下方，出口段密封连接在沉积段的上方，粉尘收集机构沿水平方向位于出口段的外侧且密封连接于出口段；入口段用于通入在加热条件下三氯化砷通氢还原产生的砷蒸汽；沉积段用于使经由入口段进入的砷蒸汽冷凝在沉积段的管壁上；出口段用于使经过沉积段后的砷蒸汽作为尾气向粉尘收集机构排出；粉尘收集机构用于接收经由出口段排出的尾气并将尾气中所含的砷以及三氯化砷进行收集。三氯化砷还原方法采用前述三氯化砷还原装置。能提高单台沉积段的沉积获得的砷的产量并有利于粉料和块料彻底分离。 | ||
| 搜索关键词： | 氯化 还原 装置 方法 | ||
【主权项】：
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