[发明专利]三氯化砷还原装置及三氯化砷还原方法在审
| 申请号: | 202210415600.9 | 申请日: | 2022-04-18 |
| 公开(公告)号: | CN114717429A | 公开(公告)日: | 2022-07-08 |
| 发明(设计)人: | 曾小东;郭金伯 | 申请(专利权)人: | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号: | C22B30/04 | 分类号: | C22B30/04;C22B5/12;C22B5/16;B01J19/24;B01D5/00;B01D53/00;B01D45/02;B01D45/08;B01D45/18 |
| 代理公司: | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人: | 张向琨 |
| 地址: | 511517 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 氯化 还原 装置 方法 | ||
1.一种三氯化砷还原装置(100),其特征在于,包括沉积段(Sd)、入口段(Si)、出口段(So)以及粉尘收集机构(6);
沉积段(Sd)竖直放置,入口段(Si)密封连接在沉积段(Sd)的下方,出口段(So)密封连接在沉积段(Sd)的上方,粉尘收集机构(6)沿水平方向位于出口段(So)的外侧且密封连接于出口段(So);
入口段(Si)用于通入在加热条件下三氯化砷通氢还原产生的砷蒸汽;
沉积段(Sd)用于使经由入口段(Si)进入的砷蒸汽冷凝在沉积段(Sd)的管壁上;
出口段(So)用于使经过沉积段(Sd)后的砷蒸汽作为尾气向粉尘收集机构(6)排出;
粉尘收集机构(6)用于接收经由出口段(So)排出的尾气并将尾气中所含的砷以及三氯化砷进行收集。
2.根据权利要求1所述的三氯化砷还原装置(100),其特征在于,
三氯化砷还原装置(100)包括沉积管(1),沉积管(1)作为沉积段(Sd)。
3.根据权利要求2所述的三氯化砷还原装置(100),其特征在于,
沉积管(1)由第一上部(11)、第二中部(12)和第三下部(13)构成;
第一上部(11)从第二中部(12)的顶端向上扩口;
第二中部(12)的内径从上往下以恒定的锥角渐缩;
第三下部(13)从第二中部(12)的顶端向下缩口。
4.根据权利要求2所述的三氯化砷还原装置(100),其特征在于,
三氯化砷还原装置(100)包括L形管(2),L形管(2)由连通的竖直管(21)和水平管(22)构成;
竖直管(21)用于将沉积管(1)固定在其内;
水平管(22)作为入口段(Si)。
5.根据权利要求4所述的三氯化砷还原装置(100),其特征在于,
竖直管(21)包括管体(211)和突环(212);
突环(212)从管体(211)的内壁沿径向向内突出;
沉积管(1)的下端抵靠在突环(212)的上表面(212b)上;
突环(212)的内径等于沉积管(1)的下端的开口(O)处的内径,且开口(O)的周缘与突环(212)的顶部的内周缘(212a)重合。
6.根据权利要求4所述的三氯化砷还原装置(100),其特征在于,
三氯化砷还原装置(100)包括倒L形的转接小头(3);
转接小头(3)的顶端与粉尘收集机构(6)密封固定连接,转接小头(3)的底端与沉积管(1)密封固定连接,转接小头(3)用作出口段(So)。
7.根据权利要求6所述的三氯化砷还原装置(100),其特征在于,
三氯化砷还原装置(100)包括倒L形的转接大头(4);
转接大头(4)收容转接小头(3)在其内,转接大头(4)的上端与粉尘收集机构(6)密封连接,转接大头(4)的下端与L形管(2)的竖直管(21)密封固定连接以将转接小头(3)和沉积管(1)密封在转接大头(4)和L形管(2)的竖直管(21)内。
8.根据权利要求4所述的三氯化砷还原装置(100),其特征在于,
三氯化砷还原装置(100)包括反应器(8);
反应器(8)密封插入L形管(2)的水平管(22)内。
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