[发明专利]三氯化砷还原装置及三氯化砷还原方法在审

专利信息
申请号: 202210415600.9 申请日: 2022-04-18
公开(公告)号: CN114717429A 公开(公告)日: 2022-07-08
发明(设计)人: 曾小东;郭金伯 申请(专利权)人: 广东先导微电子科技有限公司
主分类号: C22B30/04 分类号: C22B30/04;C22B5/12;C22B5/16;B01J19/24;B01D5/00;B01D53/00;B01D45/02;B01D45/08;B01D45/18
代理公司: 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 代理人: 张向琨
地址: 511517 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 氯化 还原 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种三氯化砷还原装置(100),其特征在于,包括沉积段(Sd)、入口段(Si)、出口段(So)以及粉尘收集机构(6);

沉积段(Sd)竖直放置,入口段(Si)密封连接在沉积段(Sd)的下方,出口段(So)密封连接在沉积段(Sd)的上方,粉尘收集机构(6)沿水平方向位于出口段(So)的外侧且密封连接于出口段(So);

入口段(Si)用于通入在加热条件下三氯化砷通氢还原产生的砷蒸汽;

沉积段(Sd)用于使经由入口段(Si)进入的砷蒸汽冷凝在沉积段(Sd)的管壁上;

出口段(So)用于使经过沉积段(Sd)后的砷蒸汽作为尾气向粉尘收集机构(6)排出;

粉尘收集机构(6)用于接收经由出口段(So)排出的尾气并将尾气中所含的砷以及三氯化砷进行收集。

2.根据权利要求1所述的三氯化砷还原装置(100),其特征在于,

三氯化砷还原装置(100)包括沉积管(1),沉积管(1)作为沉积段(Sd)。

3.根据权利要求2所述的三氯化砷还原装置(100),其特征在于,

沉积管(1)由第一上部(11)、第二中部(12)和第三下部(13)构成;

第一上部(11)从第二中部(12)的顶端向上扩口;

第二中部(12)的内径从上往下以恒定的锥角渐缩;

第三下部(13)从第二中部(12)的顶端向下缩口。

4.根据权利要求2所述的三氯化砷还原装置(100),其特征在于,

三氯化砷还原装置(100)包括L形管(2),L形管(2)由连通的竖直管(21)和水平管(22)构成;

竖直管(21)用于将沉积管(1)固定在其内;

水平管(22)作为入口段(Si)。

5.根据权利要求4所述的三氯化砷还原装置(100),其特征在于,

竖直管(21)包括管体(211)和突环(212);

突环(212)从管体(211)的内壁沿径向向内突出;

沉积管(1)的下端抵靠在突环(212)的上表面(212b)上;

突环(212)的内径等于沉积管(1)的下端的开口(O)处的内径,且开口(O)的周缘与突环(212)的顶部的内周缘(212a)重合。

6.根据权利要求4所述的三氯化砷还原装置(100),其特征在于,

三氯化砷还原装置(100)包括倒L形的转接小头(3);

转接小头(3)的顶端与粉尘收集机构(6)密封固定连接,转接小头(3)的底端与沉积管(1)密封固定连接,转接小头(3)用作出口段(So)。

7.根据权利要求6所述的三氯化砷还原装置(100),其特征在于,

三氯化砷还原装置(100)包括倒L形的转接大头(4);

转接大头(4)收容转接小头(3)在其内,转接大头(4)的上端与粉尘收集机构(6)密封连接,转接大头(4)的下端与L形管(2)的竖直管(21)密封固定连接以将转接小头(3)和沉积管(1)密封在转接大头(4)和L形管(2)的竖直管(21)内。

8.根据权利要求4所述的三氯化砷还原装置(100),其特征在于,

三氯化砷还原装置(100)包括反应器(8);

反应器(8)密封插入L形管(2)的水平管(22)内。

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