[发明专利]一种基于铌酸锂薄膜的偏振滤波型强度调制器在审
| 申请号： | 202210401293.9 | 申请日： | 2022-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN115016154A | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 王云新;于硕;王大勇;杨登才;向美华;王卓;杨锋 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035;G02F1/03;G02B6/125 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 张慧 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于铌酸锂薄膜的偏振滤波型强度调制器，调制器集成在同一芯片上，具有滤波和强度调制的功能。包括光波导、强度控制中心电极和强度控制地电极。光波导由光波导层制成，本发明对光波导层进行了改进，改进之处在于在光波导层中的铌酸锂层上面采用沉积氮化硅形成氮化硅加载条层；光波导从功能结构上划分为Y波导分束器和Y分支合束器，Y波导分束器前端直波导上增加滤波金属银覆层构成具有偏振滤波功能的光波导，经过滤波后的光波由Y波导分束器等分为平行两路波导，强度控制中心电极置于平行两路波导之间，平行两路波导外侧各设置一个强度控制地电极，强度控制中心电极和强度控制地电极构成幅度控制器电极，用于强度调制；两路光经过强度调制后，由Y分支合束器进行合束输出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 铌酸锂 薄膜 偏振 滤波 强度 调制器 | ||
【主权项】：
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