[发明专利]一种EB-PVD实验工件用样品架及其样品蒸渡方法

摘要

本发明公开一种EB‑PVD实验工件用样品架及其样品蒸渡方法，底板上开设有样品柱安装孔，样品柱安装孔内插接有用于安装实验工件的样品柱，样品柱与底板相接的位置处沿样品柱的径向开设有定位孔，定位孔内插接有定位柱，底板上开设有用于容纳定位柱的贯穿长孔，贯穿长孔的两侧开口处均抵接有可拆卸式的夹紧部，且定位柱夹紧在两夹紧部之间，底板通过样品柱安装孔和贯穿长孔分别与样品柱和定位柱形成孔内插接的连接方式，样品柱和定位柱之间也通过定位孔内插接的方式，通过夹紧部可拆卸夹紧在定位柱两侧，整个样品架形成可拆卸式的连接结构，在完成蒸镀后，能够将各个部件拆卸下来，方便的对各个部件进行清洗，避免存留死角结构。