[发明专利]晶闸管在审
申请号: | 202210399259.2 | 申请日: | 2022-04-15 |
公开(公告)号: | CN114759084A | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
发明(设计)人: | 潘立阳;孙科阳;王喆垚 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | H01L29/423 | 分类号: | H01L29/423;H01L29/745;H01L29/749 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 彭久云 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种晶闸管。该晶闸管包括半导体衬底、栅绝缘层、主栅极和第一侧栅极。该半导体衬底包括主表面,且主表面包括相邻设置的具有不同掺杂类型的第一区和第二区,第一区包括与第二区具有第一间隔的第三区,第二区包括与第一区具有第二间隔的第四区,第一间隔与第二间隔形成晶闸管的沟道区;栅绝缘层设置在主表面上;主栅极设置在栅绝缘层上,并且在垂直于主表面的方向上至少部分地对应于沟道区设置;第一侧栅极与主栅极彼此绝缘地且相邻地设置在栅绝缘层上。该晶闸管通过侧栅极结构增强了对沟道区载流子的控制能力,从而能够快速开启和关断。 | ||
搜索关键词: | 晶闸管 | ||
【主权项】:
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