[发明专利]一种在线检测超纯氧中杂质的分析装置及其分析方法在审
申请号: | 202210387309.5 | 申请日: | 2022-04-14 |
公开(公告)号: | CN114563522A | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
发明(设计)人: | 杨康;王法迎;唐中伟;黄小强 | 申请(专利权)人: | 上海凡伟仪器设备有限公司 |
主分类号: | G01N30/88 | 分类号: | G01N30/88 |
代理公司: | 上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374 | 代理人: | 李兰兰 |
地址: | 201114 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于在线检测超纯氧中杂质的分析装置及其分析方法。该装置由一个氦离子化检测器、四个切换阀、两个定量环、三根色谱柱及一根氧氩分离柱组成,装配在一个5U的19英寸标准机箱中。本发明搭配氧氩分离柱,通过控制阀的切换时间,运用阀切割技术,将超纯氧气中微量H2、Ar、N2、CH4、CO、CO2杂质,经一次进样完全分离,缩短分析周期的同时避免了现有技术中为了活化脱氧柱而暂停分析的问题,实现了在线连续检测功能。 | ||
搜索关键词: | 一种 在线 检测 超纯氧中 杂质 分析 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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