[发明专利]一种防粘黏效果好的热处理炉载盘在审
| 申请号： | 202210380530.8 | 申请日： | 2022-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN114921631A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 李奕攸;萧志斌;林锦辉;许志宏;赖政志 | 申请（专利权）人： | 苏州芯默科技有限公司 |
| 主分类号： | C21D9/00 | 分类号： | C21D9/00 |
| 代理公司： | 苏州吴韵知识产权代理事务所(普通合伙) 32364 | 代理人： | 金伟强 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，包括载盘，所述载盘上设置呈圆周设置有若干组凹槽且相对应的每组所述凹槽内均设置有锅盖形状的翘曲晶圆且所述翘曲晶圆的外壁上设置有氮化镓镀膜层，所述载盘的外表面上设置有一层耐高温防粘黏涂层。本发明所述的一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，本热处理炉载盘在其表面设置有一层耐高温防粘黏涂层，可通过其耐高温防粘黏涂层防止热处理时溅落在载盘的金属液冷却固定化后粘接在载盘上，便于后期对金属渣的清除，设置有导热柱，且其导热接触点位于翘曲晶圆直径四分之一长度相对应的翘曲晶圆内凹面上的对应点的位置上，可降低翘曲晶圆表面的最大温差值，有利于其均匀受热。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防粘黏 效果 热处理 炉载盘 | ||
【主权项】：
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