[发明专利]一种防粘黏效果好的热处理炉载盘

说明书

本发明公开了一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，包括载盘，所述载盘上设置呈圆周设置有若干组凹槽且相对应的每组所述凹槽内均设置有锅盖形状的翘曲晶圆且所述翘曲晶圆的外壁上设置有氮化镓镀膜层，所述载盘的外表面上设置有一层耐高温防粘黏涂层。本发明所述的一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，本热处理炉载盘在其表面设置有一层耐高温防粘黏涂层，可通过其耐高温防粘黏涂层防止热处理时溅落在载盘的金属液冷却固定化后粘接在载盘上，便于后期对金属渣的清除，设置有导热柱，且其导热接触点位于翘曲晶圆直径四分之一长度相对应的翘曲晶圆内凹面上的对应点的位置上，可降低翘曲晶圆表面的最大温差值，有利于其均匀受热。

技术领域

本发明涉及机械设备领域，特别涉及一种防粘黏效果好的热处理炉载盘。

背景技术

热处理炉是对金属工件进行各种金属热处理的工业炉的统称。温度一般较加热炉为低。热处理炉可以采用各种加热炉的炉型，但要求较严格地控制炉温和炉内气氛等。现有的利用热处理炉对金属进行热熔处理时，一般通过将装有的金属器皿防止在载盘上进行热处理，其载盘上一般由载盘本体、翘曲晶圆以及设置在其外表面的氮化镓镀膜层组成，在热熔处理过程中，对于熔点较低的金属其会发生热熔并产生沸腾从而使得金属液溅出，冷变成固态，粘黏在载盘本体上，很难清除，故此，我们提出一种防粘黏效果好的热处理炉载盘。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：

一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，包括载盘，所述载盘上设置呈圆周设置有若干组凹槽且相对应的每组所述凹槽内均设置有锅盖形状的翘曲晶圆且所述翘曲晶圆的外壁上设置有氮化镓镀膜层，所述载盘的外表面上设置有一层耐高温防粘黏涂层。

优选的，所述耐高温防粘黏涂层设置为ZS-522耐高温防粘涂层且所述ZS-522耐高温防粘涂层的厚度设置在50-110μm之间。

优选的，所述载盘为石墨表面镀碳化矽制成或整体为碳化矽材料制成。

优选的，每组相对应的凹槽内均设置有一组导热柱且所述导热柱的上端与翘曲晶圆的下端面接触，且其导热接触点位于翘曲晶圆直径四分之一长度相对应的翘曲晶圆内凹面上的对应点的位置。

优选的,所述导热柱为碳化矽材料制成或矽晶圆材料制成。

优选，所述导热柱的厚度设置为0.1-0.20mm。

与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：

1、本热处理炉载盘在其表面设置有一层耐高温防粘黏涂层，可通过其耐高温防粘黏涂层防止热处理时溅落在载盘的金属液冷却固定化后粘接在载盘上，便于后期对金属渣的清除。

2、设置有导热柱，且其导热接触点位于翘曲晶圆直径四分之一长度相对应的翘曲晶圆内凹面上的对应点的位置上，可使得导热柱将热量从此导热接触点同时向内外进行传导，可降低翘曲晶圆表面的最大温差值，有利于其均匀受热。

附图说明

图1为本发明一种防粘黏效果好的热处理炉载盘的整体结构图；

图2为本发明一种防粘黏效果好的热处理炉载盘的局部剖面图。

图中：1、载盘；2、翘曲晶圆；3、凹槽；4、导热柱；5、氮化镓镀膜层；6、耐高温防粘涂层。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。