[发明专利]一种防粘黏效果好的热处理炉载盘

权利要求书

1.一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，包括载盘(1)，其特征在于：所述载盘(1)上设置呈圆周设置有若干组凹槽(3)且相对应的每组所述凹槽内均设置有锅盖形状的翘曲晶圆(2)且所述翘曲晶圆(2)的外壁上设置有氮化镓镀膜层(5)，所述载盘(1)的外表面上设置有一层耐高温防粘黏涂层(6)。

2.根据权利要求1所述的一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，其特征在于：所述耐高温防粘黏涂层(6)设置为ZS-522耐高温防粘涂层且所述ZS-522耐高温防粘涂层的厚度设置在50-110μm之间。

3.根据权利要求1或2所述的一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，其特征在于：所述载盘(1)为石墨表面镀碳化矽制成或整体为碳化矽材料制成。

4.根据权利要求1或2所述的一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，其特征在于：每组相对应的凹槽(3)内均设置有一组导热柱(4)且所述导热柱(4)的上端与翘曲晶圆(2)的下端面接触，且其导热接触点位于翘曲晶圆(2)直径四分之一长度相对应的翘曲晶圆(2)内凹面上的对应点的位置。

5.根据权利要求4所述的一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，其特征在于：所述导热柱(4)为碳化矽材料制成或矽晶圆材料制成。

6.根据权利要求4所述的一种防粘黏效果好的热处理炉载盘，其特征在于：所述导热柱(4)的厚度设置为0.1-0.20mm。