[发明专利]真空溅镀机用的遮挡装置在审
| 申请号： | 202210377598.0 | 申请日： | 2022-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN114457313A | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 蔡水河;陈伟勋 | 申请（专利权）人： | 常州欣盛半导体技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409 | 代理人： | 朱丽莎 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空溅镀机用的遮挡装置，真空溅镀机内安装有主动轮，主动轮上卷绕有PI膜，遮挡装置包括：第一固定座、第二固定座、第一调整座、第二调整座、第一挡板和第二挡板，第一固定座和第二固定座均安装在真空溅镀机的舱壁上，第一调整座与第一固定座可拆卸连接，第二调整座与第二固定座可拆卸连接，第一挡板安装在第一调整座上，第二挡板安装在第二调整座上，主动轮的一端放置在第一挡板上，主动轮的另一端放置在第二挡板上，第一调整座和第二调整座均位于主动轮的下方。本发明通过第一调整座、第二调整座、第一挡板和第二挡板可以阻挡辉光产生的金属离子，减少金属离子沉积在主动轮两端，可以减少清洁时间，提高PI膜的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 溅镀机用 遮挡 装置 | ||
【主权项】：
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