[发明专利]真空溅镀机用的遮挡装置

权利要求书

1.一种真空溅镀机用的遮挡装置，其特征在于，真空溅镀机内安装有主动轮（100），所述主动轮（100）上卷绕有PI膜，遮挡装置包括：第一固定座（1）、第二固定座（2）、第一调整座（3）、第二调整座（4）、第一挡板（5）和第二挡板（6），所述第一固定座（1）和所述第二固定座（2）均安装在真空溅镀机的舱壁上，所述第一调整座（3）与所述第一固定座（1）可拆卸连接，所述第二调整座（4）与所述第二固定座（2）可拆卸连接，所述第一挡板（5）安装在所述第一调整座（3）上，所述第二挡板（6）安装在所述第二调整座（4）上，所述主动轮（100）的一端放置在所述第一挡板（5）上，所述主动轮（100）的另一端放置在所述第二挡板（6）上，所述第一调整座（3）和第二调整座（4）均位于所述主动轮（100）的下方。

2.如权利要求1所述的真空溅镀机用的遮挡装置，其特征在于，所述遮挡装置还包括：第一遮挡板（7）和第二遮挡板（8），所述第一遮挡板（7）的一端与所述第一固定座（1）连接，所述第一遮挡板（7）的另一端与所述第二固定座（2）连接；所述第二遮挡板（8）的一端与所述第一固定座（1）连接，所述第二遮挡板（8）的另一端与所述第二固定座（2）连接。

3.如权利要求2所述的真空溅镀机用的遮挡装置，其特征在于，所述第一遮挡板（7）和第二遮挡板（8）均与所述主动轮（100）的轴线A平行设置，且所述第一遮挡板（7）和第二遮挡板（8）分别位于所述轴线A的两侧。

4.如权利要求3所述的真空溅镀机用的遮挡装置，其特征在于，所述遮挡装置还包括：第一垫块组（9）和第二垫块组（10），所述第一垫块组（9）固定在所述第一固定座（1）上，所述第二垫块组（10）固定在所述第二固定座（2）上；所述第一遮挡板（7）的一端和第二遮挡板（8）的一端均与所述第一垫块组（9）连接，所述第一遮挡板（7）的另一端和第二遮挡板（8）的另一端均与所述第二垫块组（10）连接。

5.如权利要求4所述的真空溅镀机用的遮挡装置，其特征在于，所述第一遮挡板（7）包括第一横板（71）和第一竖板（72），所述第一横板（71）与所述第一竖板（72）的下端固定连接，所述第一横板（71）的一端与所述第一垫块组（9）连接，所述第一横板（71）的另一端与所述第二垫块组（10）连接；所述第二遮挡板（8）包括第二横板（81）和第二竖板（82），所述第二横板（81）与所述第二竖板（82）的下端固定连接，所述第二横板（81）的一端与所述第一垫块组（9）连接，所述第二横板（81）的另一端与所述第二垫块组（10）连接。

6.如权利要求5所述的真空溅镀机用的遮挡装置，其特征在于，所述第一竖板（72）的上端与所述第一调整座（3）上表面之间的距离为D1，所述第一挡板（5）左侧的顶点与所述第一调整座（3）上表面之间的距离为D2，D1大于D2；所述第二竖板（82）的上端与所述第一调整座（3）上表面之间的距离为D3，所述第一挡板（5）右侧顶点与所述第一调整座（3）上表面之间的距离为D4，D3大于D4，D1=D3。

7.如权利要求1所述的真空溅镀机用的遮挡装置，其特征在于，所述第一固定座（1）包括第一底板（11）、第一左侧板（12）、第一右侧板（13）及第一连接板（14），所述第一左侧板（12）与所述第一底板（11）的左侧固定连接，所述第一右侧板（13）与所述第一底板（11）的右侧固定连接，所述第一连接板（14）与所述第一底板（11）的前侧固定连接，所述第一连接板（14）的一端与所述第一左侧板（12）固定连接，所述第一连接板（14）的另一端与所述第一右侧板（13）固定连接，所述第一连接板（14）与真空溅镀机的舱壁固定连接。