[发明专利]一种微型红外光声CO2

摘要

本发明属于环境气体检测领域，具体提供一种微型红外光声CO2传感器及检测方法，用以解决传统传感器测试结果误差大、体积大等缺陷。本发明采用光声效应的原理，提出创新的非谐振型的光声腔，红外光在腔室内多次反射增强CO2气体分子对入射光的吸收，从而激发出更强的热声波；并且匹配红外辐射光源与光源调制频率，实现CO2气体浓度的测量。相对于传统的传感器，本发明传感器尺寸得到大大缩小，工作在较低的调制频率(20Hz‑40Hz)下，并配合大功率MEMS红外光源获得了更大调制深度和信号强度，获得了更低的探测下限；综上，本发明具有尺寸更小、成本更低，且灵敏度高、响应快、寿命长、检测范围宽等优点，适合大批量生产。