[发明专利]热防护温度传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210374444.6 | 申请日： | 2022-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN114838835A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 邓涛;唐成钢 | 申请（专利权）人： | 北京交通大学 |
| 主分类号： | G01K7/01 | 分类号： | G01K7/01;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京市商泰律师事务所 11255 | 代理人： | 邹芳德 |
| 地址： | 100044 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于二维纳米材料热防护的温度传感器及其制备方法，属于技术领域，包括衬底；设置在衬底上的栅电极；介电层，所述介电层一部分设置在衬底上，另一部分设置在栅电极上；设置在衬底上的源电极和漏电极；设置在介电层上的底部热防护薄膜；设置在底部热防护薄膜和源电极、漏电极上的外界温度敏感层；顶部热防护薄膜，所述顶部热防护薄膜一部分设置在衬底上，另一部分设置在所述外界温度敏感层上。本发明可以在较低成本下批量制造高温传感器；该传感器本质上属于MEMS传感器范畴，具有MEMS传感器基本的特性，并可以应用于高温环境下的传感，极大的发挥二维薄膜材料优异的电学特性，为高温环境下新型结构的微型传感器的设计与制造奠定了基础。 | ||
| 搜索关键词： | 防护 温度传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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