[发明专利]用于晶圆涂覆玻璃粉的盛料转移装置有效
| 申请号： | 202210372842.4 | 申请日： | 2022-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN114433444B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 李健儿;冯艾诚;冯永;胡仲波;蒋红全;周建余 | 申请（专利权）人： | 四川上特科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02;H01L21/687;H01L21/677 |
| 代理公司： | 成都诚中致达专利代理有限公司 51280 | 代理人： | 杨春 |
| 地址： | 629201 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请提供一种用于晶圆涂覆玻璃粉的盛料转移装置，属于制造半导体的设备领域。装置包括：溶液池、料框以及取料部件。料框包括水平间隔设置的支撑杆，支撑杆的顶面沿长度方向开设有多处弧形槽，料框的两侧均设有侧挡杆，侧挡杆沿长度方向设有限位轮，限位轮圆周的中段均呈圆弧凹陷结构，弧形槽与限位轮组合使用。取料部件设于料框上方，取料部件设有多组夹持组件，夹持组件均包括一对卡爪，卡爪下段朝中部弯曲，卡爪的下端均设有滚轮，卡爪向下移动时，可推动侧挡杆沿着晶圆的外壁向下移动，卡爪之间的间距可自行调节。本装置可防止晶圆表面局部玻璃粉涂覆不均，可完好的取出晶圆，避免在取出过程中损伤玻璃粉涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 晶圆涂覆 玻璃粉 转移 装置 | ||
【主权项】：
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