[发明专利]一种安全可靠的超纯乙硅烷气体充装设备在审
| 申请号： | 202210366131.6 | 申请日： | 2022-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN114791083A | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 祁卫华;王丹丹 | 申请（专利权）人： | 苏州嘉杰流体技术有限公司 |
| 主分类号： | F17C5/00 | 分类号： | F17C5/00;F17C13/08;F17C13/04;F17C13/02;F17C13/00;F17D1/04;F17D3/01 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 李晓峰 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种安全可靠的超纯乙硅烷气体充装设备，包括集成进气柜，集成进气柜包括预冷柜和负压阀箱，预冷柜内设置有若干个充装钢瓶，充装钢瓶的瓶体设置在预冷柜内，充装钢瓶上的瓶头通过充装接头与总充装管路相连接，总充装管路分别与第一充装支路、第二充装支路、第三充装支路、第四充装支路、第五充装支路和第六充装支路相连接。本发明通过集成进气柜和若干个充装钢瓶的结构设置，提高充装操作的功能性以及工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 安全 可靠 超纯乙 硅烷 气体 装设 | ||
【主权项】：
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