[发明专利]一种安全可靠的超纯乙硅烷气体充装设备

说明书

本发明涉及一种安全可靠的超纯乙硅烷气体充装设备，包括集成进气柜，集成进气柜包括预冷柜和负压阀箱，预冷柜内设置有若干个充装钢瓶，充装钢瓶的瓶体设置在预冷柜内，充装钢瓶上的瓶头通过充装接头与总充装管路相连接，总充装管路分别与第一充装支路、第二充装支路、第三充装支路、第四充装支路、第五充装支路和第六充装支路相连接。本发明通过集成进气柜和若干个充装钢瓶的结构设置，提高充装操作的功能性以及工作效率。

技术领域

本发明涉及气体充装相关技术领域，尤其涉及一种安全可靠的超纯乙硅烷气体充装设备。

背景技术

随着集成电路等行业的高速发展，在集成电路及半导体成品制作工艺过程中对使用气体纯度的要求越来越高，杂质要求小于1ppb。此前大部分乙硅烷气体依赖进口，目前单纯靠进口已经不能满足生产使用需求，虽然目前国内已有企业计划量产乙硅烷气体，但是对于乙硅烷充装设备的技术目前国内依然是一片空白，为此针对国产的乙硅烷气体，设计一种安全可靠又不影响产品纯度全自动充装系统很有必要。

1、充装的过程中不能对产品产生污染，需要保证产品纯度维持在99.9999％，各项杂质＜1ppb。

2、由于乙硅烷遇空气自燃的特性，充装的过程不能产生任何泄漏。

3、由于乙硅烷产品价值较高而且非常危险，需要精准控制装量。

4、由于乙硅烷非常危险，所以充装设备需要较高的自动化程度，减少人工操作。

有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种安全可靠的超纯乙硅烷气体充装设备，使其更具有产业上的利用价值。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明的目的是提供一种安全可靠的超纯乙硅烷气体充装设备。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种安全可靠的超纯乙硅烷气体充装设备，包括集成进气柜，集成进气柜包括预冷柜和负压阀箱，预冷柜内设置有若干个充装钢瓶，充装钢瓶的瓶体设置在预冷柜内，充装钢瓶上的瓶头通过充装接头与总充装管路相连接，总充装管路分别与第一充装支路、第二充装支路、第三充装支路、第四充装支路、第五充装支路和第六充装支路相连接，且总充装管路、第一充装支路、第二充装支路、第三充装支路、第四充装支路、第五充装支路和第六充装支路均位于负压阀箱内，负压阀箱内还设置有风管系统，风管系统包括放空接口、真空接口、乙硅烷接口、排风系统、两个氦/氮接口和分析接口，第一充装支路与分析接口相连接，第二充装支路和第三充装支路分别与两个氦/氮接口相连接，第四充装支路与乙硅烷接口相连接，第五充装支路与真空接口相连接，第六充装支路与放空接口相连接，排风系统与尾气处理系统相连接。

作为本发明的进一步改进，充装钢瓶的瓶体设置在预冷柜内的保温箱内，保温箱内设置有电加热和预冷换热器。

作为本发明的进一步改进，集成进气柜还包括温控系统和控制系统，温控系统为电加热温控箱，控制系统为PLC全自动控制器。

作为本发明的进一步改进，第五充装支路上还连接设置有第七充装支路，第七充装支路位于第五充装支路靠近总充装管路的一侧。

作为本发明的进一步改进，总充装管路上还设置有温度传感器、压力传感器和压力表，温度传感器位于靠近第六充装支路一侧的总充装管路上，压力传感器和压力表位于第三充装支路和第四充装支路之间的总充装管路上，压力传感器位于靠近第四充装支路一侧的总充装管路上，压力表位于靠近第三充装支路一侧的总充装管路上。

作为本发明的进一步改进，还包括冷水机组，冷水机组的第一侧设置有冷水出口，冷水机组的第二侧设置冷水进口，靠近冷水出口的一侧设置有来料入口，靠近冷水进口的一侧设置有来料出口。