[发明专利]一种安全可靠的超纯乙硅烷气体充装设备

权利要求书

1.一种安全可靠的超纯乙硅烷气体充装设备，其特征在于，包括集成进气柜(30)，所述集成进气柜(30)包括预冷柜(31)和负压阀箱(32)，所述预冷柜(31)内设置有若干个充装钢瓶(3)，所述充装钢瓶(3)的瓶体设置在预冷柜(31)内，所述充装钢瓶(3)上的瓶头通过充装接头(5)与总充装管路(6)相连接，所述总充装管路(6)分别与第一充装支路(7)、第二充装支路(8)、第三充装支路(9)、第四充装支路(11)、第五充装支路(12)和第六充装支路(13)相连接，且所述总充装管路(6)、第一充装支路(7)、第二充装支路(8)、第三充装支路(9)、第四充装支路(11)、第五充装支路(12)和第六充装支路(13)均位于负压阀箱(32)内，所述负压阀箱(32)内还设置有风管系统(2)，所述风管系统(2)包括放空接口(15)、真空接口(16)、乙硅烷接口(17)、排风系统(18)、两个氦/氮接口(20)和分析接口(21)，所述第一充装支路(7)与分析接口(21)相连接，所述第二充装支路(8)和第三充装支路(9)分别与两个氦/氮接口(20)相连接，所述第四充装支路(11)与乙硅烷接口(17)相连接，所述第五充装支路(12)与真空接口(16)相连接，所述第六充装支路(13)与放空接口(15)相连接，所述排风系统(18)与尾气处理系统(19)相连接。

2.如权利要求1所述的一种安全可靠的超纯乙硅烷气体充装设备，其特征在于，所述充装钢瓶(3)的瓶体设置在预冷柜(31)内的保温箱内，所述保温箱内设置有电加热和预冷换热器。

3.如权利要求1所述的一种安全可靠的超纯乙硅烷气体充装设备，其特征在于，所述集成进气柜(30)还包括温控系统(1)和控制系统(10)，所述温控系统(1)为电加热温控箱，所述控制系统(10)为PLC全自动控制器。

4.如权利要求1所述的一种安全可靠的超纯乙硅烷气体充装设备，其特征在于，所述第五充装支路(12)上还连接设置有第七充装支路(14)，所述第七充装支路(14)位于第五充装支路(12)靠近总充装管路(6)的一侧。

5.如权利要求1所述的一种安全可靠的超纯乙硅烷气体充装设备，其特征在于，所述总充装管路(6)上还设置有温度传感器(22)、压力传感器(23)和压力表(24)，所述温度传感器(22)位于靠近第六充装支路(13)一侧的总充装管路(6)上，所述压力传感器(23)和压力表(24)位于第三充装支路(9)和第四充装支路(11)之间的总充装管路(6)上，所述压力传感器(23)位于靠近第四充装支路(11)一侧的总充装管路(6)上，所述压力表(24)位于靠近第三充装支路(9)一侧的总充装管路(6)上。

6.如权利要求1所述的一种安全可靠的超纯乙硅烷气体充装设备，其特征在于，还包括冷水机组(25)，所述冷水机组(20)的第一侧设置有冷水出口(27)，所述冷水机组(25)的第二侧设置冷水进口(28)，靠近所述冷水出口(27)的一侧设置有来料入口(26)，靠近所述冷水进口(28)的一侧设置有来料出口(29)。

7.如权利要求1所述的一种安全可靠的超纯乙硅烷气体充装设备，其特征在于，所述第一充装支路(7)上远离总充装管路(6)的一侧依次设置有气动隔膜阀、单向阀和手动隔膜阀，所述第二充装支路(8)上远离总充装管路(6)的一侧依次设置有气动隔膜阀、单向阀和手动隔膜阀，所述第三充装支路(9)上远离总充装管路(6)的一侧依次设置有气动隔膜阀、单向阀和膜片式微漏阀，所述第四充装支路(11)上远离总充装管路(6)的一侧依次设置有气动隔膜阀和手动隔膜阀，所述第五充装支路(12)上远离总充装管路(6)的一侧依次设置有气动隔膜阀和手动隔膜阀，所述第六充装支路(13)上远离总充装管路(6)的一侧依次设置有气动隔膜阀、单向阀和手动隔膜阀。

8.如权利要求7所述的一种安全可靠的超纯乙硅烷气体充装设备，其特征在于，所述第一充装支路(7)和第六充装支路(13)上的单向阀的流向为远离总充装管路(6)一侧的方向，所述第二充装支路(8)和第三充装支路(9)上的单向阀的流向为朝向总充装管路(6)一侧的方向。