[发明专利]光栅衍射效率测量装置和光栅衍射效率推算方法在审
| 申请号： | 202210362153.5 | 申请日： | 2022-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN116929715A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 桑琦;魏晓马;邓明翰;孔令浩;常庆麒 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京清源汇知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11644 | 代理人： | 冯德魁 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请公开了一种光栅衍射效率测量装置，包括：设置在基台上的激光组件、光电探测组件、待测光栅组件以及通信连接的控制设备；激光组件设置在以待测光栅组件为圆心以R1为半径的第一圆弧上，包括激光器；光电探测组件对应设置在以R2为半径的第二圆弧上和以R3为半径的第三圆弧上；待测光栅组件设置在第一圆弧、第二圆弧的同心位置；测量时，光电探测组件用于测量激光器出射光功率，控制设备用于确定激光器在不同角度对应偏振态下相对待测光栅的闪耀级次，控制光电探测组件移动至衍射级次光路处，以获得不同角度对应偏振态下的衍射光及激光器出射光的功率数据比值的平均值作为待测光栅的测量衍射效率值。本申请还公开一种光栅衍射效率推算方法。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 衍射 效率 测量 装置 推算 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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