[发明专利]一种进气装置及衬底处理设备

摘要

本发明提供一种进气装置，用于衬底处理设备，衬底处理设备包含一反应腔，所述进气装置位于反应腔上方，进气装置内部设有冷却流体通道以及分别连通外部多个工艺气体源的多个工艺气体输入管路，进气装置内部开有多个工艺气体输出通道；工艺气体输入管路通过至少一个对应的工艺气体输出通道向反应腔内提供工艺气体；冷却流体通道围绕工艺气体输入管路设置，多个工艺气体输出通道围绕冷却流体通道周向排布，冷却流体通道对工艺气体输入管路和工艺气体输出通道进行控温。本发明还提供一种衬底处理设备。通过本发明的冷却流体通道可以有效对工艺气体输入管道和工艺气体输出通道进行降温，避免了工艺气体的沉积而产生颗粒污染物，大大提高了晶圆成品率。