[发明专利]脉宽可调的脉冲真空紫外灯在审
| 申请号： | 202210357596.5 | 申请日： | 2022-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN116936337A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 束继年;程诗宇;杨波;张作建;李震 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大学 |
| 主分类号： | H01J61/30 | 分类号： | H01J61/30;H01J61/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100049 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及脉宽可调的脉冲真空紫外灯，由固体继电器、2650 kHz射频发生器、耦合器和等离子放电腔组成。等离子放电腔由石英灯管、金属灯泡、氟化锂或氟化镁窗片、窗片固定盖、石英灯管固定盘、石英灯管密封圈和窗片密封圈构成。耦合器由耦合器支撑杆、铁氧体磁芯和激发线圈构成。等离子放电腔的中央是石英灯管，石英灯管内放置耦合器，等离子放电腔的真空紫外光输出端装有氟化锂或氟化镁窗片。2650 kHz射频发生器经固体继电器连接220V/110V电源插座，固体继电器工作状态由一个3‒10 V的脉冲电压控制。射频发生器产生的射频电流流经耦合器，激发等离子放电腔内的发光介质气体，形成等离子体，进而产生真空紫外光。产生的真空紫外光经氟化锂或氟化镁窗片输出。脉冲真空紫外光的脉宽由控制固体继电器的3‒10 V的脉冲电压的脉宽决定，从而形成脉宽可调的脉冲真空紫外光。 | ||
| 搜索关键词： | 可调 脉冲 真空 紫外 | ||
【主权项】：
暂无信息
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