[发明专利]真空蒸镀装置及显示面板的制备方法在审
| 申请号： | 202210351319.3 | 申请日： | 2022-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN114807842A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 张校士 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 刘茂源 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种真空蒸镀装置及显示面板的制备方法；该真空蒸镀装置包括冷却板、多个第一磁性构件以及多个测距传感器，冷却板用于对目标基板进行冷却，第一磁性构件用于磁吸目标基板，其中，测距传感器与第一磁性构件电性连接，测距传感器用于获取目标基板与冷却板的间距，使每一个测距传感器与目标基板之间的距离相等；上述真空蒸镀装置根据不同测距传感器与目标基板的距离差异调整多个第一磁性构件产生的磁场强度，以使每一个测距传感器与目标基板之间的距离相等，从而避免目标基板与掩膜板在贴合过程中存在相对位移，进而防止目标基板上残留的蒸镀材料转移到掩膜板上，有效提高了显示面板的产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 装置 显示 面板 制备 方法 | ||
【主权项】：
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