[发明专利]真空蒸镀装置及显示面板的制备方法

权利要求书

1.一种真空蒸镀装置，其特征在于，包括：

冷却板，所述冷却板设置在目标基板上，以对所述目标基板冷却；

多个第一磁性构件，设置于所述冷却板远离所述目标基板的一侧，所述第一磁性构件用于磁吸所述目标基板；以及

多个测距传感器，设置于所述冷却板内，所述测距传感器与所述第一磁性构件电性连接，所述测距传感器用于获取所述目标基板与所述冷却板的间距。

2.根据权利要求1所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述冷却板上设置有多个过孔，所述过孔沿所述冷却板的对角线方向设置；

其中，所述测距传感器设置于所述过孔内。

3.根据权利要求1所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述真空蒸镀装置还包括多个第二磁性构件，所述第二磁性构件设置于所述目标基板靠近所述冷却板的一侧，且与所述目标基板固定连接；

其中，所述第二磁性构件对应于所述目标基板的非显示区设置。

4.根据权利要求3所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述第二磁性构件包括沿第一方向延伸且沿第二方向排列的多个第一磁性单元、以及沿所述第二方向延伸且沿所述第一方向排列的多个第二磁性单元，所述第一方向与所述第二方向呈夹角设置，相邻两个所述第一磁性单元与相邻两个所述第二磁性单元构成一交叠区域；

其中，在所述目标基板的俯视图方向上，所述第一磁性构件在所述目标基板上的正投影位于所述交叠区域内。

5.根据权利要求3所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述第一磁性构件包括电磁材料，所述第二磁性构件包括永磁性材料。

6.根据权利要求5所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述真空蒸镀装置还包括磁板，所述磁板设置于所述冷却板的上方；

其中，所述磁板为永磁板或者电磁板，所述磁板的磁场强度大于多个所述第一磁性构件通电后的磁场强度。

7.根据权利要求6所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述磁板与所述冷却板的间距范围在5cm至10cm之间。

8.一种显示面板的制备方法，其特征在于，所述方法包括：

提供如权利要求1至7任一项所述的真空蒸镀装置；

将目标基板与所述真空蒸镀装置中的所述第二磁性构件贴合，以及与所述冷却板初步对位；

通过所述第一磁性构件以及所述测距传感器调节所述目标基板与所述冷却板的间距，以使每一个所述测距传感器与所述目标基板之间的距离相等；

将掩膜板与所述目标基板远离所述冷却板的一侧贴合，以及对所述目标基板进行蒸镀处理，形成有机发光层。

9.根据权利要求8所述的显示面板的制备方法，其特征在于，所述通过所述第一磁性构件以及所述测距传感器调节所述目标基板与所述冷却板的间距，以使每一个所述测距传感器与所述目标基板之间的距离相等的步骤还包括：

获取所述目标基板的弯曲应力数据；

对所述冷却板上的多个所述第一磁性构件进行通电处理，使所述冷却板与所述目标基板贴合；

获取每一个所述测距传感器与所述目标基板之间的距离差异；

调节所述第一磁性构件的磁场强度，使每一个所述测距传感器与所述目标基板之间的距离相等。

10.根据权利要求8所述的显示面板的制备方法，其特征在于，所述将掩膜板与所述目标基板远离所述冷却板的一侧贴合，以及对所述目标基板进行蒸镀处理，形成有机发光层的步骤还包括：

提供所述磁板，所述磁板设置于所述冷却板的上方；

对所述磁板进行通电处理，使所述磁板的磁场强度大于所述冷却板的磁场强度；

通过所述磁板与所述目标基板之间产生的磁力，将掩膜板与所述目标基板远离所述冷却板的一侧贴合。