[发明专利]一种激光精密刻蚀设备有效
| 申请号： | 202210344705.X | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN114769885B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 赵全忠;付强;梅志朋;冯英国;丁建一;孔兵;徐冰 | 申请（专利权）人： | 南京萃智激光应用技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/70 |
| 代理公司： | 南京华恒专利代理事务所(普通合伙) 32335 | 代理人： | 宋方园 |
| 地址： | 210038 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了激光刻蚀技术领域的一种激光精密刻蚀设备，包括底板以及能产生负压风力的风机，底板上设置有支撑装置，支撑装置包括固定连接在底板上表面的机床，机床的上端开设有开槽，开槽内线性阵列有安装杆，每两个安装杆之间均滑动连接摆放杆，多个摆放杆可组成一个完整的支撑板，摆放杆的内部开设有内通腔，内通腔以自身轴线线性阵列设置有向摆放杆上表面贯通而出的多个气孔一，机床的下表面固定连接有连通管一，连通管一与每个内通腔均连通，且两组的所有摆放杆可组成一个完成的支撑板，连通管一与菱形抹框的进风口连通，底板上还设置有用于进行刻蚀的激光刻蚀头。本发明不会对薄膜产生夹痕，多点的固定能适应激光的高温。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 精密 刻蚀 设备 | ||
【主权项】：
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