[发明专利]一种激光精密刻蚀设备

说明书

本发明公开了激光刻蚀技术领域的一种激光精密刻蚀设备，包括底板以及能产生负压风力的风机，底板上设置有支撑装置，支撑装置包括固定连接在底板上表面的机床，机床的上端开设有开槽，开槽内线性阵列有安装杆，每两个安装杆之间均滑动连接摆放杆，多个摆放杆可组成一个完整的支撑板，摆放杆的内部开设有内通腔，内通腔以自身轴线线性阵列设置有向摆放杆上表面贯通而出的多个气孔一，机床的下表面固定连接有连通管一，连通管一与每个内通腔均连通，且两组的所有摆放杆可组成一个完成的支撑板，连通管一与菱形抹框的进风口连通，底板上还设置有用于进行刻蚀的激光刻蚀头。本发明不会对薄膜产生夹痕，多点的固定能适应激光的高温。

技术领域

本发明涉及激光刻蚀技术领域，具体为一种激光精密刻蚀设备。

背景技术

采用高能脉冲激光束在零件表面刻蚀出宽度为10~505μm、深度为5~1001μm的微细小槽，以改善材料表面润滑特性的技术。目前在对薄膜的表面进行印花加工中，有采用激光刻蚀的方法来进行刻蚀，进行刻蚀时，需要将薄膜放置在机床上，随后激光刻蚀设备来进行刻蚀，但是由于薄膜较轻，在刻蚀时需要对薄膜进行固定，防止机械的震动或者气流而导致薄膜发生偏移，从而影响刻蚀的精度。

现有的大部分技术，大多数都直接是将薄膜放在机床上进行加工，由于薄膜较轻，机床在进行工作的时候会产生震动，并且工作人员在走动时还能会产生气流导致薄膜被吹动或者发生偏移。由于激光刻蚀属于精密加工，其加工的精度可以高至零点毫米以下，甚至更高，细微地偏移到会导致加工出现误差，直接将薄膜放在机床上，容易导致发生加工偏差，从而导致出现残次品，目前也有技术采用夹具进行夹持薄膜，但是由于薄膜较软较薄容易破损，直接通过夹具的直接接触容易导致薄膜上出现压痕严重时会导致直接的破损，并且还有可能出现遮挡刻蚀激光的现象。

基于此，本发明设计了一种激光精密刻蚀设备，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种激光精密刻蚀设备，以解决上述背景技术中提出的现有技术不能在对薄膜产生破损的影响下对薄膜进行夹持固定现有技术缺点的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种激光精密刻蚀设备，包括底板以及能产生负压风力的风机，所述底板上设置有支撑装置，所述支撑装置包括固定连接在底板上表面的机床，所述机床的上端开设有开槽，所述开槽内线性阵列有安装杆，每两个所述安装杆之间均滑动连接摆放杆，多个所述摆放杆可组成一个完整的支撑板，所述摆放杆的内部开设有内通腔，所述内通腔以自身轴线线性阵列设置有向摆放杆上表面贯通而出的多个气孔一，所述机床的下表面固定连接有连通管一，所述连通管一与每个内通腔均连通，所述支撑装置镜像设置有两组，且两组的所有摆放杆可组成一个完成的支撑板，所述连通管一与菱形抹框的进风口连通，所述底板上还设置有用于进行刻蚀的激光刻蚀头，所述激光刻蚀头位于两组支撑装置的摆放杆组成一个完整支撑板以后的中心正上方。

作为本发明的进一步方案，所述支撑装置还包括有刮平装置，所述刮平装置包括固定连接在底板上表面的导轨支撑杆，所述导轨支撑杆的上端水平限位滑动连接有滑杆座，所述滑杆座靠近摆放杆的一端固定连接有能将两组支撑装置中所有的摆放杆向着相互远离的方向推开的菱形抹框，所述刮平装置在底板上位于支撑装置的两侧对称设置有两组，两个所述滑杆座上贯通滑动连接有导向杆，所述导向杆的外壁位于两个菱形抹框之间的位置设置有能使两个菱形抹框进行复位的复位弹簧，所述刮平装置还包括有能使菱形抹框向着靠近内通腔方向进行运动的牵引装置。

作为本发明的进一步方案，所述牵引装置包括固定连接在底板上的吊架，所述吊架的上端中间位置固定连接有气缸，所述气缸的输出轴上固定连接激光刻蚀头，所述激光刻蚀头上固定连接有拉索，所述拉索远离激光刻蚀头的一端固定连接在滑杆座上靠近内通腔的一侧端面上，所述吊架的内侧面上固定连接有吊杆以及扣环，所述底板的上表面固定连接有限位板，所述摆放杆远离菱形抹框的一端固定连接有滑柱，所述滑柱远离摆放杆的一端贯穿伸出机床且设置有凸缘，所述滑柱的外壁位于摆放杆和机床之间的位置套设有能使摆放杆进行复位的弹簧，所述拉索的中间依次从上到下穿过吊杆、扣环和限位板。