[发明专利]一种激光精密刻蚀设备

权利要求书

1.一种激光精密刻蚀设备，包括底板（01）以及能产生负压风力的风机（37），其特征在于：所述底板（01）上设置有支撑装置，所述支撑装置包括固定连接在底板（01）上表面的机床（02），所述机床（02）的上端开设有开槽（17），所述开槽（17）内线性阵列有安装杆（16），每两个所述安装杆（16）之间均滑动连接摆放杆（13），多个所述摆放杆（13）可组成一个完整的支撑板，所述摆放杆（13）的内部开设有内通腔（34），所述内通腔（34）以自身轴线线性阵列设置有向摆放杆（13）上表面贯通而出的多个气孔一（14），所述机床（02）的下表面固定连接有连通管一（23），所述连通管一（23）与每个内通腔（34）均连通，所述支撑装置镜像设置有两组，且两组的所有摆放杆（13）可组成一个完成的支撑板，所述连通管一（23）与菱形抹框（11）的进风口连通，所述底板（01）上还设置有用于进行刻蚀的激光刻蚀头（07），所述激光刻蚀头（07）位于两组支撑装置的摆放杆（13）组成一个完整支撑板以后的中心正上方；

所述支撑装置还包括有刮平装置，所述刮平装置包括固定连接在底板（01）上表面的导轨支撑杆（09），所述导轨支撑杆（09）的上端水平限位滑动连接有滑杆座（10），所述滑杆座（10）靠近摆放杆（13）的一端固定连接有能将两组支撑装置中所有的摆放杆（13）向着相互远离的方向推开的菱形抹框（11），所述刮平装置在底板（01）上位于支撑装置的两侧对称设置有两组，两个所述滑杆座（10）上贯通滑动连接有导向杆（08），所述导向杆（08）的外壁位于两个菱形抹框（11）之间的位置设置有能使两个菱形抹框（11）进行复位的复位弹簧（25），所述摆放杆（13）远离菱形抹框（11）的一端固定连接有滑柱（15），所述滑柱（15）远离摆放杆（13）的一端贯穿伸出机床（02）且设置有凸缘，所述滑柱（15）的外壁位于摆放杆（13）和机床（02）之间的位置套设有能使摆放杆（13）进行复位的弹簧，所述刮平装置还包括有能使菱形抹框（11）向着靠近内通腔（34）方向进行运动的牵引装置。

2.根据权利要求1所述的一种激光精密刻蚀设备，其特征在于：所述牵引装置包括固定连接在底板（01）上的吊架（03），所述吊架（03）的上端中间位置固定连接有气缸（06），所述气缸（06）的输出轴上固定连接激光刻蚀头（07），所述激光刻蚀头（07）上固定连接有拉索（05），所述拉索（05）远离激光刻蚀头（07）的一端固定连接在滑杆座（10）上靠近内通腔（34）的一侧端面上，所述吊架（03）的内侧面上固定连接有吊杆（21）以及扣环（04），所述底板（01）的上表面固定连接有限位板（26），所述拉索（05）的中间依次从上到下穿过吊杆（21）、扣环（04）和限位板（26）。

3.根据权利要求2所述的一种激光精密刻蚀设备，其特征在于：所述刮平装置还包括有负吸开关装置，所述负吸开关装置包括固定并连通在连通管一（23）上的L形连通管（29），所述L形连通管（29）上垂直限位滑动连接有连通阀柱（31），所述连通阀柱（31）上开设有侧壁孔（36）且通过侧壁孔（36）与L形连通管（29）连通，所述连通阀柱（31）的上下两端设置有凸缘，所述连通阀柱（31）的外壁套设有能使连通阀柱（31）向着靠近内通腔（34）的方向进行复位的弹簧。

4.根据权利要求3所述的一种激光精密刻蚀设备，其特征在于：所述刮平装置还包括有粘连装置，所述粘连装置包括固定连接在机床（02）下表面的连通软管（22），还包括开设在菱形抹框（11）上表面的气孔二（20），所述菱形抹框（11）的内部中空且与气孔二（20）连通，所述连通软管（22）的两端分别连通进两个菱形抹框（11）内，所述粘连装置还包括有能对菱形抹框（11）进行通气的气流调节开关。