[发明专利]一种连续生产热丝CVD金刚石产品的设备及其使用方法

摘要

一种连续生产热丝CVD金刚石产品的设备及其使用方法，用于解决现有热丝CVD技术导致产品的生产成本较高的技术问题。包括依次连通设置的至少三个腔室，位于中间位置的一个所述腔室为反应腔室，其他所述腔室为放置基材架的辅助腔室，所述反应腔室独立成为一个密封的腔室或与其两侧的一个或多个所述辅助腔室一起构成一个连续且封闭的腔室结构以使得所述反应腔室一直处于工作状态，所述反应腔室内设置可使所述基材架沿着所述滑动轨道往复运动的第一驱动组件，密封门的设置可以使得反应腔室一直处于工作状态，辅助腔室内提前预备好待加工的基材，可以提高生产效率同时降低了生产成本；本发明主要用于金刚石领域。