[发明专利]一种大量程柔性压力传感器及其制备方法在审
申请号: | 202210335287.8 | 申请日: | 2022-03-31 |
公开(公告)号: | CN114777967A | 公开(公告)日: | 2022-07-22 |
发明(设计)人: | 冯敬东;周震;其他发明人请求不公开姓名 | 申请(专利权)人: | 苏州能斯达电子科技有限公司 |
主分类号: | G01L1/18 | 分类号: | G01L1/18;B32B27/00;B32B27/06;B32B33/00;B32B5/02;B32B5/26;B32B27/12;B32B38/00;B32B38/14;H01C17/065;H01C17/28;H01C17/02 |
代理公司: | 常州品益专利代理事务所(普通合伙) 32401 | 代理人: | 潘兵 |
地址: | 215123 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种大量程柔性压力传感器及其制备方法,包括上下层柔性基底、图案化电极层、高灵敏电阻敏感层、弹性支撑层和柔性封装层,图案化电极层印刷固定在下层柔性基底的表面,高灵敏电阻敏感层印刷固定在上层柔性基底的表面,弹性支撑层和柔性封装层位于上下层柔性基底之间,将上层柔性基底和下层柔性基底之间形成空隙。本发明通过孔洞微结构和特殊凸起结构设计实现最大量程1000N的压力增强感知检测,同时该大量程柔性器件还具有良好曲/平面共形贴附检测、较良好线性输出。通过柔性增材制造技术一体化成型,以保证各层之间良好的贴附性、结合力和稳定性,制备工艺简单、成本低、易于批量生产制备。 | ||
搜索关键词: | 一种 量程 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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