[发明专利]一种高精度恒温洁净室

摘要

本发明提供一种高精度恒温洁净室，包括由左到右依次设置的调温过滤室及洁净室，调温过滤室的中部竖直设置有隔板，隔板分别与调温过滤室的上下前后四个侧壁密封连接并将调温过滤室分隔成左腔室和右腔室；左腔室的左侧壁的中部设置进风口，进风口内设置第一温度传感器，左腔室内设置有至少一组调温过滤组件，调温过滤组件密封镶嵌在隔板上且穿过隔板伸入到右腔室内；调温过滤组件的左侧设置有均匀分流装置，均匀分流装置的入口与进风口相连，均匀分流装置的出口与调温过滤组件的入口相连；右腔室的顶端设置出风口，出风口内设置有第二温度传感器，出风口与洁净室连通，出风口设置有均匀散风结构，均匀散风结构设置在洁净室的顶部。