[发明专利]一种高精度恒温洁净室

说明书

本发明提供一种高精度恒温洁净室，包括由左到右依次设置的调温过滤室及洁净室，调温过滤室的中部竖直设置有隔板，隔板分别与调温过滤室的上下前后四个侧壁密封连接并将调温过滤室分隔成左腔室和右腔室；左腔室的左侧壁的中部设置进风口，进风口内设置第一温度传感器，左腔室内设置有至少一组调温过滤组件，调温过滤组件密封镶嵌在隔板上且穿过隔板伸入到右腔室内；调温过滤组件的左侧设置有均匀分流装置，均匀分流装置的入口与进风口相连，均匀分流装置的出口与调温过滤组件的入口相连；右腔室的顶端设置出风口，出风口内设置有第二温度传感器，出风口与洁净室连通，出风口设置有均匀散风结构，均匀散风结构设置在洁净室的顶部。

技术领域

本发明涉及洁净室技术领域，尤其涉及一种高精度恒温洁净室。

背景技术

洁净室是指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。洁净室的发展与现代工业、尖端技术密切联系在一起。由于精密机械工业如陀螺仪、微型轴承等加工、半导体工业如大规模集成电路生产等对环境的要求，导致洁净室在工业生产应用中已相当普遍。

现有的恒温洁净室的高度普遍在2-3米或者更高。主要是通过冷水机提供恒温水源，通过温度控制器控制水加热器的功率，调节进入散热盘管机的水温，最后经过风机散热保证房间内温度恒定。但是目前恒温洁净室的高度普遍较高，通常在底面和屋顶分别设置进风口，保证洁净室进风效率。但是由于地面和屋顶有较大温差，导致靠近地面和靠近屋顶的进风口风温有较大的差异，通过温度控制器，很难调控，或者无法做到真正意义上的高精度恒温（±0.05℃）。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出一种高精度恒温洁净室。

为实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种高精度恒温洁净室，包括由左到右依次设置的调温过滤室及洁净室，所述调温过滤室的中部竖直设置有隔板，所述隔板分别与所述调温过滤室的上下前后四个侧壁密封连接并将所述调温过滤室分隔成左腔室和右腔室；所述左腔室的左侧壁的中部设置进风口，所述进风口内设置第一温度传感器，所述左腔室内设置有至少一组调温过滤组件，所述调温过滤组件密封镶嵌在所述隔板上且穿过所述隔板伸入到所述右腔室内；所述调温过滤组件的左侧设置有均匀分流装置，所述均匀分流装置的入口与所述进风口相连，所述均匀分流装置的出口与所述调温过滤组件的入口相连；所述右腔室的顶端设置出风口，所述出风口内设置有第二温度传感器，所述出风口与所述洁净室连通，所述出风口设置有均匀散风结构，所述均匀散风结构设置在所述洁净室的顶部。

优选地，所述调温过滤组件包括相互拼接的散热盘管机及FFU风机过滤机组；所述散热盘管机的左侧与所述均匀分流装置的出口相对，所述散热盘管机的右侧与所述FFU风机过滤机组的进风端相对，所述FFU风机过滤机组的出风端镶嵌在所述隔板上且凸出在所述右腔室内；每个所述散热盘管机通过输水管并联，所述输水管上设置有加热器，所述加热器电性连接外部的温度调控器，所述温度调控器与所述第一温度传感器和所述第二温度传感器电性连接。

优选地，所述输水管上还设置有恒压泵，所述恒压泵嵌装在所述输水管上。

优选地，所述进风口内还设置有预调温组件，所述预调温组件居中设置，所述预调温组件位于所述第一温度传感器的左侧，所述预调温组件的左侧还设置有第三温度传感器，所述第三温度传感器与所述温度调控器电性连接。

优选地，所述预调温组件包括由左到右依次设置拼接的预加热机构和风机，所述预加热机构的加热方式为水加热散热或者电加热散热。

优选地，所述均匀散风结构包括出风排管，所述出风排管固定设置在所述洁净室的顶部，所述出风排管上均匀设置有朝下的散风口。

优选地，所述出风排管位于所述洁净室四个墙角的位置处分别设置有从上到下延伸的排风管，所述排风管的侧壁上由上至下均匀布设有散风口。

优选地，四根所述排风管上的散风口在同一高度上共面。